净化方法有窑、炉直接燃烧，火炬燃烧和催化燃烧。也可广泛使用活性炭吸附迸行净化，虽也可用分子筛或硅胶作吸附剂，但从吸附容量、吸附有机物的种类来看，应用、效果的还是活性炭。用颗粒活性炭净化废气，大都用并联操作的固定床吸附器。废气进气前应作去除其中的微粒和液滴的预处理。

常用水蒸气脱附再生，经脱附、冷凝、分离后回收有机溶剂，不溶于水的溶剂可用分层而分离;溶于水的溶剂可用精馏而分离。对少量的水溶性溶剂也可与水一起掺入煤炭进炉烧掉。有些有机溶剂被活性炭吸附，用水蒸气加以脱附，例如丙烯酸、二丁胺、丙烯酸丁酷、丙烯酸异丁醋、丙烯酸乙酷、甲基乙基毗陡;丁酸、苯酚、异佛尔酮、丙酸、苯酚和戊酸等。

活性炭可从一种烃类或石油类中分离出聚合烃类。对空气中七种有机物如甲苯、丙酮、乙醇、乙脂、乙酸乙酷、氯乙烯、乙酸，以不同原料如椰子、檄揽和枣制成的活性炭分别作吸附测试，均有良好的吸附力，而以檄揽为原料的活性炭为。分子筛有筛选一定大小分子的作用，原从赛纶树脂制成;现在也可从煤，经适当方法处理，再经均匀活化而得，该类活性炭具有两个平行的平面层间距 (约为50nm)结构，可筛选性地吸附50nm 以下的分子。碳氟化合物的蒸气中如含有全氟异丁烯，也可用活性炭去除。

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